La Sezione di Bologna dell’Istituto Nazionale di Fisica Nucleare ha intrapreso la realizzazione di un laboratorio dedicato alla caratterizzazione di rivelatori al silicio e allo sviluppo di sistemi elettronici e microelettronici dedicati, con l’obiettivo di supportare progetti scientifici di interesse per i ricercatori della Sezione stessa e che sono attualmente in fase di avvio. Il laboratorio è in fase di preparazione e si troverà presso la sede di Viale Berti-Pichat, al piano -1 nella stanza A032.
Il laboratorio affiancherà la camera pulita di classe ISO 7 di cui la sezione si è dotata e che sarà inizialmente utilizzata dall’esperimento ATLAS per attività di Quality Control dei moduli del tracciatore a pixel in costruzione per HL-LHC.
Il laboratorio sarà attrezzato con una “probe station” per effettuare misure su wafer di silicio e caratterizzare dispositivi microelettronici. È stata acquistata la “probe station” manuale TS200A di MPI Corporation che permetterà di testare wafer di diametro fino a 200 mm (8 pollici). Lo strumento è arrivato ai primi di febbraio e venerdì 12 si è tenuto presso i locali della Sezione il collaudo e un primo training tenuto da esperti di MPI a cui hanno partecipato ricercatori coinvolti nello sviluppo di rivelatori al silicio e personale dei Servizi di Elettronica e Tecnico-Generale della Sezione.
La “probe station” è costituita da un Chuck Stage con movimentazione basata su cuscinetto ad aria e aree di vuoto sezionate per poter ospitare dispositivi di diverse dimensioni: da piccoli circuiti integrati di pochi millimetri fino a wafer di silicio di diametro di 8 pollici. Il probe platen, che può ospitare fino a 10 posizionatori, è attualmente attrezzato con 4 micromanipolatori dotati di braccetti coassiali sui quali possono essere montate diverse tipologie di punte di contatto. Lo strumento è equipaggiato con un microscopio tri-oculare, tale da permettere il collegamento con videocamere, dotato di zoom ottico 10x, un set di oculari per ingrandimenti 20x e un doppio sistema per l’illuminazione del Chuck.