Foto della probe station per il laboratorio di rivelatori al silicio

La nuova Probe Station di Sezione per il laboratorio di rivelatori al silicio

La Sezione di Bologna dell’Istituto Nazionale di Fisica Nucleare ha intrapreso la realizzazione di un laboratorio dedicato alla caratterizzazione di rivelatori al silicio e allo sviluppo di sistemi elettronici e microelettronici dedicati, con l’obiettivo di supportare progetti scientifici di interesse per i ricercatori della Sezione stessa e che sono attualmente in fase di avvio. Il laboratorio è in fase di preparazione e si troverà presso la sede di Viale Berti-Pichat, al piano -1 nella stanza A032.

Il laboratorio affiancherà la camera pulita di classe ISO 7 di cui la sezione si è dotata e che sarà inizialmente utilizzata dall’esperimento ATLAS per attività di Quality Control dei moduli del tracciatore a pixel in costruzione per HL-LHC.

Il laboratorio sarà attrezzato con una “probe station” per effettuare misure su wafer di silicio e caratterizzare dispositivi microelettronici. È stata acquistata la “probe station” manuale TS200A di MPI Corporation che permetterà di testare wafer di diametro fino a 200 mm (8 pollici). Lo strumento è arrivato ai primi di febbraio e venerdì 12 si è tenuto presso i locali della Sezione il collaudo e un primo training tenuto da esperti di MPI a cui hanno partecipato ricercatori coinvolti nello sviluppo di rivelatori al silicio e personale dei Servizi di Elettronica e Tecnico-Generale della Sezione.

La “probe station” è costituita da un Chuck Stage con movimentazione basata su cuscinetto ad aria e aree di vuoto sezionate per poter ospitare dispositivi di diverse dimensioni: da piccoli circuiti integrati di pochi millimetri fino a wafer di silicio di diametro di 8 pollici. Il probe platen, che può ospitare fino a 10 posizionatori, è attualmente attrezzato con 4 micromanipolatori dotati di braccetti coassiali sui quali possono essere montate diverse tipologie di punte di contatto. Lo strumento è equipaggiato con un microscopio tri-oculare, tale da permettere il collegamento con videocamere, dotato di zoom ottico 10x, un set di oculari per ingrandimenti 20x e un doppio sistema per l’illuminazione del Chuck.

Foto parziale della probe station Foto dettaglio della probe station